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长春光学精密机械与物... [4]
上海光学精密机械研究... [3]
上海应用物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [7]
学位论文 [1]
发表日期
2020 [1]
2016 [2]
2015 [1]
2012 [1]
2007 [2]
2005 [1]
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单色器晶体角度微振动的高精度原位检测技术
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 156-164
作者:
樊奕辰
;
李中亮
;
徐中民
;
张琦
;
刘运
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2021/04/25
同步辐射
双晶单色器
角度微振动
双频激光干涉仪
基于双频激光干涉仪的精密定位系统设计
期刊论文
OAI收割
实验室研究与探索, 2016, 期号: 11, 页码: 72-75
作者:
陈昊
;
陈琦
;
蒋贵德
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2017/09/17
双频激光干涉仪
气浮导轨
精密定位
前馈控制
高精度六维激光测量系统误差补偿算法研究
期刊论文
OAI收割
电子测量与仪器学报, 2016, 期号: 8, 页码: 1275-1281
作者:
李朋志
;
郭抗
;
尹志生
;
李友如
;
李佩玥
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2017/09/17
双频激光干涉仪
六自由度位姿检测
误差补偿
齐次变换
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2015, 期号: 04, 页码: 266-272
作者:
宋楠
;
冯树龙
;
于海利
;
齐向东
;
巴音贺希格
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/07/06
光栅
衍射光栅
光栅刻划机
气浮导轨
双频激光干涉仪
刀架系统
丝杠螺母副轴向窜动误差分析及测量系统设计
期刊论文
OAI收割
长春工业大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 04, 页码: 397-401
姚雪峰
;
于海利
;
冯树龙
;
齐向东
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/03/11
丝杠螺母副
精密仪器
轴向窜动
误差分析
非接触式测量
双频激光干涉仪
加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2007, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 694, 698
张志平
;
程兆谷
;
覃兆宇
;
朱健强
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浏览/下载:1339/213
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提交时间:2009/09/24
测量
measurement
激光双频干涉仪
laser dual-frequency interferometer
加速度
acceleration
累积误差
cumulative error
多普勒频移
Doppler frequency shift
双频激光干涉仪的最大可测量速度研究
期刊论文
OAI收割
Chin. Opt. Lett., 2007, 卷号: 5, 期号: 4, 页码: 208, 210
张志平
;
程兆谷
;
覃兆宇
;
朱健强
收藏
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浏览/下载:1373/230
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提交时间:2009/09/24
测量
Light measurement
双频激光干涉仪
Light sources
最大可测量速度
自由落体
双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005
作者:
宁志高
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2016/11/28
双频激光干涉仪
纳米测量
误差分析