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上海光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2005 [1]
学科主题
光学薄膜 [1]
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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磁控反应溅射法制备渐变折射率薄膜的模型分析
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4842, 4845
沈自才
;
邵建达
;
王英剑
;
范正修
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提交时间:2009/09/22
渐变折射率
gradient-index
磁控反应溅射
reactive magnetron sputtering
模型
modeling
反应溅射法
薄膜
制备
模型分析
磁控
变化规律
反应气体