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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林
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MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2010
戚玉婕
收藏  |  浏览/下载:54/0  |  提交时间:2012/03/06