机构

• 微电子研究所 [1]
• 长春应用化学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2005 [1]
• 1988 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5，13-17 作者:  刘明;  王巍;  叶甜春;  李兵;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/26 等离子体诊断技术  朗格谬尔探针  发射光谱法：激光诱导荧光法  光谱椭偏法  质谱法   激光诱导敏化荧光法测量钼原子跃迁的自发发射分支比 期刊论文  OAI收割 科学通报, 1988, 期号: 8, 页码: 588-591 金巨广; 段忆翔; 王松岳; 黄本立 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/06/13 发射光谱法  离子检测  激光诱导荧光光谱  谱线强度  分支比  自发发射  敏化荧光法