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• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2019 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真 期刊论文  OAI收割 激光技术, 2019, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 136-142 作者:  张景文;  范斌;  李志炜;  汉语   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2021/05/11 光学制造  反应离子刻蚀  变结构腔室  流热场分布  滑移区稀薄气体  数值模拟