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• 电子学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]
• 2010 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2011, 期号: 08 李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 微光机电系统  多台阶平板  平行平板  静电驱动  微镜阵列  高占空比   真空微电子压力传感器的研制 会议论文  OAI收割 中国电子学会第七届学术年会, 2001 陈绍凤; 夏善红; 赵湛; 白强 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/09/04 真空微电子  场致发射  台阶阵列  敏感膜  压力传感器