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	用于激光合束系统的光束位置监测装置设计期刊论文 OAI收割激光与红外, 2020, 卷号: 50, 期号: 02, 页码: 204-210 作者: 陈昌博; 韩旭东; 徐新行 \| 收藏 \| 浏览/下载：65/0 \| 提交时间：2021/07/06 近场波长合束位置监测缩束系统
	高功率激光热效应对合束系统的影响期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3097-3106 作者: 孙毅; 高云国; 邵帅收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2016/07/06 激光干扰合束系统激光热效应光束偏置 Zernike拟合
	从MEMS到NEMS进程中的技术思考期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2008, 期号: 01 李昕欣; 夏晓媛; 张志祥收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统阳极键合玻璃薄膜电子束蒸发键合强度