机构

• 高能物理研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 1995 [1]
• 1993 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 LIGA技术的掩模制造 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37 作者:  伊福廷;  吴坚武;  晋明;  冼鼎昌;  刘金声 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/07 同步辐射光刻  X光曝光掩模  微结构  微细加工   微细加工新技术—LIGA技术 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1993, 期号: 4, 页码: 1--7 作者:  伊福廷;  吴坚武;  冼鼎昌 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/07 同步辐射曝光  电铸  塑铸  微细加工