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LIGA技术的掩模制造 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37
作者:  伊福廷
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/07
微细加工新技术—LIGA技术 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 1993, 期号: 4, 页码: 1--7
作者:  伊福廷;  吴坚武;  冼鼎昌
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/07