机构

• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2001 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究 期刊论文  OAI收割 高能物理与核物理, 2001, 期号: S1, 页码: 128-130 作者:  彭良强;  伊福廷;  韩勇;  张菊芳) 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/01/25 同步辐射深度光刻  超深结构  高深宽比