机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 2, 页码: 6，34-39 作者:  王永坤;  陈大鹏;  余雷;  余建祖   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  掩模  后烘烤  有限元技术  瞬态温度场