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二十世纪中早期中国珠算在世界的传播——以几种英文珠算手册为例
期刊论文
OAI收割
内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版), 2021, 卷号: 50, 期号: 05, 页码: 455-463
作者:
周霄汉
;
贺梦莹(20
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提交时间:2022/06/22
珠算传播
英文珠算手册
计算器具
刘仲谦
李开正
机械加工企业车间设备管理系统设计与实现
期刊论文
OAI收割
沈阳理工大学学报, 2011, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 61-65
关学锋
;
徐英田
;
安伟
;
谭祯
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提交时间:2012/05/29
机械加工
车间管理
设备管理系统
EJB技术
设备点检
设备故障
设备检修
加工企业
计量器具管理
系统设计与实现
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
面向雨数的循环优化序列定制方法
期刊论文
OAI收割
计算机工程与应用, 2009, 卷号: 45, 期号: 24, 页码: 63-66,117
陈烨
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提交时间:2011/03/18
polyhedron模型
优化序列定制
cache失效率
CMES简化方程
循环
化序列
定制方法
优化效果
函数
效率方程
程序
编译
数据表
加速比
复杂度
cache
讨论
实验
器具
评估
模型
迭代
差异
变换
载人潜水器水面监控系统
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2008, 卷号: 29, 期号: S, 页码: 169-171
作者:
王晓辉
;
刘开周
;
祝普强
;
郭威
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提交时间:2010/11/29
海洋工程
潜水器具
载人潜水
计算机监控
科研机构计量工作的几点思考
期刊论文
OAI收割
中国计量, 2000, 期号: 1, 页码: 33-34
方惠英
;
于桂清
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提交时间:2010/05/03
计量工作
科研机构
中国科学院
计量管理工作
计量意识
技工作者
技转化为生产力
施细则
量器具
量法
2
金丝玻管伏安检测器的研制
期刊论文
OAI收割
分析仪器, 1990, 期号: 2, 页码: 40-42+84
李雨仙
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严辉宇
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提交时间:2012/03/20
检测器具
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