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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2014 [1]
• 1995 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2014, 期号: 4, 页码: 113-117 作者:  孙振;  彭海峰 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/04/17 光刻物镜  光学元件  精密轴向调节  面形分析  柔顺铰链  固有频率特性   纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1995, 期号: 06, 页码: 50-54 作者:  吴一辉 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2013/03/11 纳米定位  x—y工作台  固有频率特性