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浏览/检索结果: 共27条,第1-10条 帮助

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点阵结构部件的增材制造路径连接方法 期刊论文  OAI收割
航空制造技术, 2021, 卷号: 64, 期号: 6, 页码: 14-23
作者:  
周波;  刘殿海;  赵宇辉;  田同同;  赵吉宾
  |  收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2021/04/24
干滩表层沉积尾矿的细观几何特征研究 期刊论文  OAI收割
岩石力学与工程学报, 2016, 期号: 04, 页码: 768-777
作者:  
巫尚蔚;  杨春和;  张超;  冒海军;  李浩然
  |  收藏  |  浏览/下载:52/0  |  提交时间:2018/06/25
硅基III-V族横向纳米线晶体管的工艺研究 学位论文  OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
洪文婷
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2015/06/02
GPU技术在反应堆设计中的应用研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2015
作者:  
王飞飞
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2015/12/09
基于相变材料薄膜的激光直写微纳图形结构研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2011
作者:  
顿爱欢
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/11/28
增强MIMO OFDM无线通信仿真 期刊论文  OAI收割
系统仿真学报, 2010, 期号: 08
杨秀梅; 熊勇; 贾国庆
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2012/01/06
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:32/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
布料上污渍效果的真实感模拟 期刊论文  OAI收割
计算机辅助设计与图形学学报, 2008, 卷号: 20, 期号: 9, 页码: 1110-1116
刘世光; 陈国军; 杨鹏; 张加万; 孙济洲
收藏  |  浏览/下载:64/2  |  提交时间:2011/06/10
双重软件体系结构描述框架XYZ/ADL 期刊论文  OAI收割
计算机研究与发展, 2007, 卷号: 44, 期号: 9, 页码: 1485-1494
朱雪阳
  |  收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2011/07/01
过程性纹理映射的FPGA动态生成 期刊论文  OAI收割
计算机辅助设计与图形学学报, 2006, 卷号: 18, 期号: 5, 页码: 630-637
李笑盈; 吴恩华
  |  收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2011/07/13