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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于Si塑性变形的二维驱动器的设计 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 08 陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/04/13 二维驱动器  塑性变形  绝缘填充槽  梳齿驱动  垂直位错