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机构
金属研究所 [3]
上海微系统与信息技术... [2]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
成果 [1]
发表日期
2011 [2]
2004 [1]
2002 [1]
1992 [1]
学科主题
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共5条,第1-5条
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聚苯乙烯/氧化硅核壳型复合磨料的制备及其在铜化学机械抛光的应用研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2011
张磊
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2013/04/24
硅溶胶
PS/SiO2
核壳结构
复合磨料
铜化学机械抛光
一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2011, 期号: 05
张磊
;
汪海波
;
张泽芳
;
王良咏
;
刘卫丽
;
宋志棠
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/04/13
PS/SiO2
复合磨料
铜
化学机械抛光
改性介孔二氧化硅/有机大分子复合磨料及其化学机械抛光液的制备
成果
OAI收割
2004
张劲松
;
张军旗
;
杨永进
;
曹小明
;
刘强
;
李明天
;
梁燕
;
杨振明
;
谢素箐
;
江小平
;
张革
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2013/07/24
复合磨料
化学机械抛光液
TiC/Ti复合材料激光熔覆层的冲击磨粒磨损性能
期刊论文
OAI收割
金属学报, 2002, 期号: 10, 页码: 1100-1104
张松,张春华,张松,吴维(山文),王茂才,张春华,刘常升,李诗卓,李曙
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/04/12
原位合成
激光熔覆
复合材料
冲击磨料磨损
不连续碳化硅增强铝基复合材料磨损性能的研究
期刊论文
OAI收割
航空材料学报, 1992, 期号: 2, 页码: 55-61+30
申红伟
;
毕敬
;
马宗义
;
吕毓雄
;
高荫轩
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/04/12
复合材料磨损:6496
颗粒增强铝基复合材料:3383
碳化硅增强铝:3313
抗磨损性能:2915
磨损表面:2649
磨损率:2425
抗磨性能:2064
基体合金:1902
晶须:1786
磨料磨损试验:1698