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• 长春光学精密机械与物... [2]
• 国家授时中心 [2]
• 光电技术研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2022 [1]
• 2015 [1]
• 2013 [1]
• 1984 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 支撑变形对面形检测精度影响研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  刘绚   |  收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2022/06/17 支撑变形  支撑结构  面形精度  复现性分析   基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2016/07/06 测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量   基于运动学支撑的透镜光学表面面形及其复现性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2013, 期号: 08, 页码: 2000-2007 作者:  于新峰;  倪明阳;  巩岩 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2014/03/07 投影物镜  运动学支撑结构  光学表面面形  夹持力  复现性  有限元法  Zernike多项式   氢脉泽调谐方法的改进 期刊论文  OAI收割 陕西天文台台刊, 1984, 期号: 2, 页码: 24-28 陈根茂; 田润清; 沈伟 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/07/09 氢脉泽:5429  调谐原理:4609  调谐方法:3589  准确度:3558  复现性:2563  稳定度:2348  小流量:2028  突出问题:1952  大流量:1390  输出频率:1332