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• 长春光学精密机械与物... [1]
• 光电技术研究所 [1]

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• 学位论文 [1]
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• 2022 [1]
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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 支撑变形对面形检测精度影响研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  刘绚   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2022/06/17 支撑变形  支撑结构  面形精度  复现性分析   基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272 作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2016/07/06 测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量