机构

• 长春光学精密机械与物... [4]

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内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2002 [1]
• 1998 [1]
• 1994 [1]
• 1991 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文  OAI收割 物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线:6714  投影光刻:5104  多层膜:4818  反射式:1137  光刻胶:1091  软X射线照射:949  掩膜技术:901  反射率:875  光学系统:601  易氧化材料:561   正入射软X射线显微成像研究 期刊论文  OAI收割 光电子·激光, 1998, 期号: 02, 页码: 74 作者:  陈星旦 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线:6135  显微成像:5971  正入射:4144  Ｘ射线天文学:1781  多层膜技术:1357  滤光片:1187  光电子学:976  衍射光学元件:892  等离子体诊断:859  显微成像系统:776   软X射线多层膜色散元件 期刊论文  OAI收割 光学学报, 1994, 期号: 11, 页码: 1204-1209 作者:  陈星旦 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  多层膜技术  色散元件   X射线波段多层膜光学元件 期刊论文  OAI收割 自然科学进展, 1991, 期号: 06, 页码: 555-557 作者:  陈星旦;  陈波 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/03/11 X射线  多层膜技术  光学元件