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光学工程 [1]
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极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:
宋源
;
卢启鹏
;
龚学鹏
;
王依
;
彭忠琦
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收藏
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浏览/下载:52/0
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提交时间:2018/04/09
极紫外光刻机
碳污染
清洗技术
多层膜反射镜
用于空间太阳望远镜的双波段极紫外反射镜
期刊论文
OAI收割
光电子.激光, 2014, 期号: 7, 页码: 1298-1302
作者:
刘震
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2015/04/17
极紫外(EUV)
双波段多层膜
太阳望远镜
反射率
磁控溅射
多层隔热材料飞行试验研究综述
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 457-469
石进峰
;
吴清文
;
陈立恒
;
杨献伟
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2014/03/07
低地球轨道
多层隔热组件
原子氧
哈勃望远镜
月基极紫外相机多层膜反射镜
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2013, 期号: 01, 页码: 283-286
作者:
王彤彤
;
陈波
;
高劲松
;
刘震
;
王笑夷
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2014/03/07
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
反射率
等离子体层
质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2011, 期号: 01, 页码: 324-330
作者:
陈波
;
王孝东
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/03/11
空间太阳望远镜
Mo/Si多层膜
微观结构
反射率
23.4nm软X射线多层膜反射镜研制
期刊论文
OAI收割
光谱学与光谱分析, 2011, 期号: 04, 页码: 1138-1141
作者:
刘震
;
陈波
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/03/11
极紫外
多层膜反射镜
磁控溅射
X射线衍射仪
反射率计
软X光多层镜反射率的标定与修正
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2009, 期号: 4, 页码: 827-831
作者:
侯立飞
;
易荣清
;
杜华冰
;
李朝光
;
何小安
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2015/12/25
多层镜
反射率
标定
同步辐射
修正
大口径平背形主镜背部支撑位置优化计算方法
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2007, 期号: 6
耿麒先
;
杨洪波
;
李延伟
收藏
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浏览/下载:59/0
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提交时间:2012/09/25
主镜
背部支撑
APDL语言
优化设计
多层优化
软X光多层镜反射率在同步辐射源上的标定
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2007, 期号: 12, 页码: 2043-2046
作者:
侯立飞
;
易荣清
;
杜华冰
;
刘慎业
;
朱京涛
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2015/12/25
软X光
多层镜
反射率
高次衍射
不确定度
Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者:
陈波
;
尼启良
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/03/11
空间辐射环境
Mo/Si多层膜反射镜
带电粒子
辐射损伤