机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用SiH2Cl2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 1, 页码: 3，28-30 作者:  廖勇明   |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2010/05/26 Mems  Sih2cl2  多晶硅薄膜 Xrd  薄膜应力