机构

• 上海光学精密机械研究... [2]
• 光电技术研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2006 [2]
• 2002 [1]
• 1999 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402 施伟杰; 王向朝; 张冬青; 马明英; 王帆 收藏  |   基于套刻误差测试标记的彗差检测技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 1037, 1042 马明英; 王向朝; 王帆; 施伟杰; 张冬青 收藏  |   AlGaInP/GaAs HBT工艺研究 会议论文  OAI收割 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 2002 程知群; 孙晓玮; 钱蓉 收藏  |   高精度逐场调平技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999 胡松 收藏  |