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	基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402 施伟杰; 王向朝; 张冬青; 马明英; 王帆收藏 \| 浏览/下载：1070/144 \| 提交时间：2009/09/18 光学测量原位检测套刻性能光刻机焦面检测对准标记
	基于套刻误差测试标记的彗差检测技术期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 1037, 1042 马明英; 王向朝; 王帆; 施伟杰; 张冬青收藏 \| 浏览/下载：1431/239 \| 提交时间：2009/09/18 光学测量光刻机彗差套刻误差投影物镜
	AlGaInP/GaAs HBT工艺研究会议论文 OAI收割第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 2002 程知群; 孙晓玮; 钱蓉收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2012/01/18 台面腐蚀欧姆接触标记套刻异质结双结型晶体管砷化镓
	高精度逐场调平技术研究学位论文 OAI收割硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999 胡松收藏 \| 浏览/下载：42/0 \| 提交时间：2013/11/19 光学光刻逐场调平多点检焦控制算法套刻步进模型