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OAI收割 [26]
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期刊论文 [18]
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稀疏子孔径拼接光学系统像质检测研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
罗倩
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2018/05/23
干涉测量
光学系统检测
稀疏子孔径
拼接检测
拼接检测系统平面波前稀疏子孔径排列模型的优化
期刊论文
OAI收割
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 5, 页码: 32-38
作者:
罗倩
;
吴时彬
;
汪利华
;
杨伟
;
范斌
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/08/23
稀疏子孔径
教学建模
拼接检测
波面重构
干涉测量
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2016, 期号: 1, 页码: 130-136
作者:
王孝坤
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提交时间:2017/09/17
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2016, 页码: 180-185
作者:
张敏
;
高松涛
;
苗二龙
;
隋永新
;
杨怀江
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/04/09
测量
干涉检测
子孔径拼接检测
支撑
测量误差
高精度平面子孔径拼接算法研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
朱鹏辉
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2016/11/28
大口径平面
干涉测量
子孔径拼接
累积误差
伪剪切干涉
非零位补偿检验非球面技术(英文)
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2015, 期号: 09, 页码: 2702-2709
作者:
王孝坤
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2016/07/06
光学检测
非球面
部分补偿
子孔径拼接干涉计测
数字样板法
用于子孔径拼接干涉系统的机械误差补偿算法
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 期号: 04, 页码: 934-940
作者:
张敏
;
隋永新
;
杨怀江
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/07/06
拼接干涉检测
子孔径拼接
机械定位误差
补偿算法
大口径平面镜
光刻机工件台方镜面形子孔径拼接干涉测量技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
李永
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浏览/下载:91/0
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提交时间:2016/11/28
干涉测量
子孔径拼接
误差累积
高反射率平面
45°平面镜
提取标记点中心在子孔径拼接检测中的应用
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 830-836
作者:
隋永新
;
杨怀江
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2015/04/17
光学检测
干涉仪
子孔径拼接算法
标记点中心
基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2014, 期号: 1, 页码: 178-183
作者:
罗霄
;
王孝坤
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2015/04/17
光学检测
干涉测量
子孔径拼接
最大似然估计
Zernike多项式拟合