机构

• 合肥物质科学研究院 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 2002, 卷号: 022 作者:  Teuner D;  黄建军;  刘正之;  梁荣庆   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2020/10/26 容性耦合射频放电  等离子体  实验研究  等效电路模型  放电特性