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• 长春光学精密机械与物... [1]
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• OAI收割 [3]

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• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2015 [2]
• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 多探测器拼接成像系统四维标定平台 期刊论文  OAI收割 电子测量与仪器学报, 2015, 期号: 08, 页码: 1187-1195 作者:  张广;  黄玮;  王新华 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/07/06 多探测器拼接  角度补偿  四维标定平台  对准精度   基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计 期刊论文  OAI收割 制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者:  佟军民;  胡松 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术  接近式光刻机  对准系统  对准精度   X射线光刻对准边缘增强技术及性能研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 2, 页码: 17-22 作者:  王德强;  谢常青;  叶甜春;  刘业异;  胡松   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  对准系统  拉普拉斯算子  识别精度  对准精度