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机构
上海光学精密机械研究... [3]
长春光学精密机械与物... [2]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2009 [1]
2007 [1]
2006 [1]
2005 [1]
2004 [1]
更多
学科主题
光学工程 [1]
光栅 [1]
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浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
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大口径长焦距平行光管光学系统设计
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
吕保斌
收藏
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二次光栅在波前测量中的应用
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 1, 4
周素梅
;
周常河
收藏
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基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 673, 678
王帆
;
王向朝
;
马明英
;
张冬青
;
施伟杰
收藏
  |  
利用离轴三反镜光学系统确定各镜的装调公差
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2005, 期号: 02, 页码: 173-176
杨晓飞
;
韩昌元
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用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 115-120
杨晓飞
;
张晓辉
;
韩昌元
收藏
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