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OAI收割 [8]
内容类型
期刊论文 [5]
学位论文 [3]
发表日期
2021 [1]
2011 [1]
2009 [1]
1999 [1]
1997 [1]
1992 [1]
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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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共8条,第1-8条
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典型城市污水生物处理工艺的冬季运行稳定性分析
期刊论文
OAI收割
中国给水排水, 2021, 卷号: 37, 期号: 19, 页码: 78-84
作者:
尚越飞
;
宗倪
;
齐嵘
;
杨敏
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提交时间:2021/12/29
生物营养物去除(BNR)工艺
冬季低温运行
过程分析
丝状菌
制丝质量评价系统研究与实现
期刊论文
OAI收割
制造业自动化, 2011, 卷号: 33, 期号: 12, 页码: 24-26,52
作者:
吕希胜
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提交时间:2012/05/29
制丝生产线
质量评价体系
统计过程控制
制造执行系统
质量评价系统
工艺参数
工艺质量
质量评价方法
生产过程
质量分析
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
辣根过氧化物酶的次生代谢调控和反应器技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 1999
闭静秀
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提交时间:2013/09/27
辣根过氧化物酶(HPR)是广泛应用于临床诊断和微量分析的免疫测定试剂用酶。本文研究了通过组织细胞培养方法生产辣根过氧化物酶次生代谢物调控和生物反应器技术。为大规模植物组织培养生产辣根过氧化物酶提取供工程基础依据。论文研究了:(1)植物生长因子对辣根菜愈伤组织诱导、组织分化和高产系筛选区的影响
同时利用农杆菌基因转导方式,将Ti、Ri质粒基因转入植物细胞中,诱导冠瘿瘤愈伤组织和发根产生,研究化学诱导信号AS和遗传转化过程操作条件对质粒转达化率先的影响。(2)根团的培养工艺及次生代谢产物调控--接种细胞形态、外源蛋白质添加、pH值调控、低温间歇刺激、光敏因素、培养方式等条件调控次生代谢产物合成。(3)分化根培养过程中的营养物质传递探索,研究了高密度根团培养内部的物质传递传质特点以及对生长和次生代谢产物合成影响。(4)植物细胞培养反应器技术,比较了浸没、非浸没式生物反应器在植物组织培中的应用。
大型工业过程控制中智能控制方法研究
学位论文
OAI收割
沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 1997
作者:
张进
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提交时间:2010/11/29
回转窑
工艺过程分析
分散型控制系统
开放平台
钨粉和蓝钨粉中钾的原子吸收光谱测定
期刊论文
OAI收割
光谱实验室, 1992, 期号: 03, 页码: 20-23
作者:
胡洁雪
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提交时间:2014/08/27
钨粉
抗蠕变性能
原子吸收光谱
测定问题
掺杂元素
电离干扰
分析纯
工艺过程
乙炔流量
吸光度
钢丝断裂失效分析
期刊论文
OAI收割
物理测试, 1991, 期号: 2, 页码: 48-50
秦万信
;
高薇
;
苏会和
;
刘兴志
;
尹万全
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提交时间:2012/04/12
钢丝:5824
使用过程:4277
热处理工艺:3295
网状铁素体:3002
断裂失效分析:2567
成品钢:2231
油井:2161
力学性能:2147
不稳定:1953
断裂原因:1799
测定石墨电阻炉中的生成气
期刊论文
OAI收割
分析化学, 1982, 卷号: 10, 期号: 7, 页码: 398-398
孙万明
;
顾浩
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提交时间:2012/06/15
高温氧化
石墨电阻加热器
电阻加热炉
电阻炉
工艺条件
锗单晶
高温设备
分析方法
工艺过程
激光晶体