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长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1988 [1]
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多功能干涉测量装置及其应用
期刊论文
OAI收割
光学仪器, 1988, 期号: 03, 页码: 38-47
周长新
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提交时间:2013/03/11
干涉条纹:4398
表面粗糙度:4072
测量装置:3468
扫描干涉仪:3373
干涉装置:2877
薄膜厚度:2849
多光束干涉仪:2591
精细结构:2444
条纹宽度:2432
测量精度:2377