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OAI收割 [14]
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学位论文 [1]
发表日期
2014 [1]
2012 [1]
2009 [1]
2005 [2]
2003 [1]
1995 [1]
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学科主题
天文和天体物理 [1]
红外探测材料与器件 [1]
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共14条,第1-10条
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基于HIMS模型的西营河流域河道内生态基流估算
中文期刊论文
OAI收割
2014
作者:
商玲
;
李宗礼
;
孙伟
;
王中根
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提交时间:2015/12/18
HIMS模型
生态基流
最小流量平均法
西营河
湿滑路面上固体颗粒对轮胎附着性能的影响
期刊论文
OAI收割
合肥工业大学学报:自然科学版, 2012, 卷号: 035
作者:
徐新泉
;
刘伟
;
刘焜
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2020/11/25
动力润滑
固体颗粒浓度
平均流量模型
轮胎/路面
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
满足灌水器平均流量和灌水均匀度的微灌系统优化设计方法
期刊论文
OAI收割
干旱地区农业研究, 2005, 卷号: 23, 期号: 1, 页码: 28-33
作者:
康跃虎
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提交时间:2011/10/10
微灌系统
优化设计
灌水器平均流量
灌水均匀度
满足灌水器平均流量和灌水均匀度的微灌系统优化设计方法
中文期刊论文
OAI收割
2005
作者:
康跃虎
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提交时间:2012/05/15
微灌系统
优化设计
灌水器平均流量
灌水均匀度
西线——为西部大开发输血
中文期刊论文
OAI收割
2003
陈传友
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提交时间:2012/05/23
西部大开发
雅鲁藏布江
水资源
多年平均径流量
西线
年径流量
调水
大西北
少数民族自治区
蒸汽再压缩热泵的黑液降膜蒸发传热研究
期刊论文
OAI收割
制冷, 1995, 期号: 1, 页码: 5-9
蒙宗信
;
何荣炽
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浏览/下载:244/40
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提交时间:2010/06/09
蒸汽再压缩
蒸发传热
黑液浓度
平均传热系数
薄膜蒸发器
热泵
降膜蒸发
预热器
质量流量
重力水头:1007
东海主要水道的流量估算
CNKI期刊论文
OAI收割
1991
作者:
赵保仁,方国洪
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提交时间:2024/12/18
吐噶喇海峡
平均流量
在不同减速因子q_0下体积检验问题的探讨
期刊论文
OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1986, 期号: 4, 页码: 408-419
龚树模,李浩江,夏昌立
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提交时间:2012/12/22
体积检验
减速因子
问题的探讨
Friedmann宇宙模型
平均值
流量密度
Hubble常数
极限流量
客体
紫金山天文台
气动型波能转换装置气室输出气流功率的计算
期刊论文
OAI收割
海洋工程, 1986, 期号: 2
梁贤光
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提交时间:2010/06/09
波能转换装置
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空气压缩
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