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浏览/检索结果: 共14条,第1-10条 帮助

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基于HIMS模型的西营河流域河道内生态基流估算 中文期刊论文  OAI收割
2014
作者:  
商玲;  李宗礼;  孙伟;  王中根
收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2015/12/18
湿滑路面上固体颗粒对轮胎附着性能的影响 期刊论文  OAI收割
合肥工业大学学报:自然科学版, 2012, 卷号: 035
作者:  
徐新泉;  刘伟;  刘焜
  |  收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2020/11/25
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
满足灌水器平均流量和灌水均匀度的微灌系统优化设计方法 期刊论文  OAI收割
干旱地区农业研究, 2005, 卷号: 23, 期号: 1, 页码: 28-33
作者:  
康跃虎
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2011/10/10
满足灌水器平均流量和灌水均匀度的微灌系统优化设计方法 中文期刊论文  OAI收割
2005
作者:  
康跃虎
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2012/05/15
西线——为西部大开发输血 中文期刊论文  OAI收割
2003
陈传友
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/05/23
蒸汽再压缩热泵的黑液降膜蒸发传热研究 期刊论文  OAI收割
制冷, 1995, 期号: 1, 页码: 5-9
蒙宗信; 何荣炽
收藏  |  浏览/下载:244/40  |  提交时间:2010/06/09
东海主要水道的流量估算 CNKI期刊论文  OAI收割
1991
作者:  
赵保仁,方国洪
  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2024/12/18
在不同减速因子q_0下体积检验问题的探讨 期刊论文  OAI收割
中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学), 1986, 期号: 4, 页码: 408-419
龚树模,李浩江,夏昌立
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2012/12/22
气动型波能转换装置气室输出气流功率的计算 期刊论文  OAI收割
海洋工程, 1986, 期号: 2
梁贤光
收藏  |  浏览/下载:174/67  |  提交时间:2010/06/09