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机构
微电子研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [1]
1999 [1]
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共2条,第1-2条
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磁存储器驱动电路界面平坦化研究
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 358-360
作者:
杜寰
;
赵玉印
;
韩郑生
;
夏洋
;
张志纯
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提交时间:2010/05/26
磁存储器
平坦化
表面粗糙度
均方根值
大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1999, 期号: 04
张志明
;
沈荷生
;
何贤昶
;
万永中
;
杨艺蓉
;
任琮欣
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提交时间:2012/03/29
K1 金刚石薄膜
平坦表面
离子束刻蚀