机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1997 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣① 期刊论文  OAI收割 云南大学学报(自然科学版), 1997, 期号: 1, 页码: 66-68 赵岩，冯钟潮，梁勇 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/12 脉冲激光溅射  SnO2  气敏膜分类号TN304．21薄膜型传感器易于微型化  集成化  同半导体技术结合起来  制成性能稳定  低能耗  强功能的气敏器件  是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法  溅射法  溶胶－凝胶（SO