机构

• 光电技术研究所 [2]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]
• 2006 [1]
• 1999 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 董小春 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2013/11/19 微光学  不规则面形  微光刻技术  曝光阈值  掩模移动滤波   光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 1-6 作者:  陈宝钦;  刘明;  徐秋霞;  薛丽君;  李金儒   |  收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2010/05/26 微光刻技术  微纳米加工技术  电子束直写  匹配与混合光刻技术   全内反射全息微光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999 陈芬 收藏  |  浏览/下载：70/0  |  提交时间：2013/11/19 全内反射全息术  全息微光刻  光刻技术