机构

• 上海微系统与信息技术... [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]
• 工程热物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 会议论文 [1]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]
• 2012 [1]
• 2007 [1]

学科主题

• 测量及显示技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014 作者:  朱锋 收藏  |  浏览/下载：152/0  |  提交时间：2016/11/28 激光并行直写  自动聚焦  达曼光栅  微纳加工  误差分析与校正   结构异化对二重光栅辐射特性影响 会议论文  OAI收割 中国工程热物理学会, 2012 焦焱; 刘林华 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2013/03/21 微尺度二重光栅  严格耦合波分析法  结构异化  氧化膜  加工误差   半绝缘GaAs光电导天线辐射THz电磁波展宽特性分析 期刊论文  OAI收割 西安理工大学学报, 2007, 期号: 03 贾婉丽; 施卫 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 微机械陀螺  健壮性优化  微加工误差  固有频率  数学模型