机构

• 长春光学精密机械与物... [2]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2004 [1]
• 2002 [1]
• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 基于LIGA技术的微细电火花加工 期刊论文  OAI收割 机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28 作者:  彭良强 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 微细电火花加工  LIGA技术  微细加工技术  工具电极  微型机电系统  研究机构  喷墨打印机  成形电极  特种加工  磨削工艺   用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究 期刊论文  OAI收割 中国机械工程, 2002, 期号: 01, 页码: 35-38+4 曲炳郡; 刘晓鹏; 李路明; 王立鼎 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/03/11 形状记忆合金  薄膜  微型机电系统  冷轧  溅射  原子力显微镜   微光机电系统国内外研究进展 期刊论文  OAI收割 光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5 作者:  梁静秋 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/03/11 微光机电系统:9087  涡轮喷气发动机:2324  国内外研究:1475  微型机电系统:1430  微机器人:1346  微结构:1222  微加速度计:1182  微制造技术:1089  微驱动器:986  微机械:962