机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2009 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究 会议论文  OAI收割 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009 徐德辉; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/18 微机械热电堆 红外探测器 热电偶材料 多晶硅 结构支撑膜 干法各向同性 硅腐蚀工艺