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	准分子激光微加工应用研究进展期刊论文 OAI收割量子电子学报, 2018, 卷号: 035 作者: 何立文; 方晓东 \| 收藏 \| 浏览/下载：63/0 \| 提交时间：2020/11/25 激光技术准分子激光微加工集成芯片3D封装微机电系统材料微加工
	基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制期刊论文 OAI收割传感器与微系统, 2011, 期号: 10 张缓缓; 刘彬; 金庆辉; 刘咏松收藏 \| 浏览/下载：21/0 \| 提交时间：2012/04/13 微机电系统技术 Ag/AgCl参比电极集成微电极水质监测
	百瓦级新型金属双极板PEM燃料电池堆研制期刊论文 OAI收割电源技术, 2006, 期号: 02 王东; 张伟; 刘向; 夏保佳; 李国欣收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2012/01/06 微型质子交换膜燃料电池(mPEMFC) 微机电系统(MEMS)技术单晶硅片
	基于FPGA的卫星遥测遥控通道设计与实现期刊论文 OAI收割航空计算技术, 2006, 期号: 05 谢胜民; 杨根庆收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2012/01/06 电子技术微机电系统光学电流传感器扭转微镜双光纤准直器
	微型光谱仪的发展期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2003, 期号: 01, 页码: 30-37 作者: 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2013/03/11 微型光谱仪微机电系统微光学微制造技术
	微光机电系统国内外研究进展期刊论文 OAI收割光机电信息, 2000, 期号: 08, 页码: 1-5 作者: 梁静秋收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2013/03/11 微光机电系统:9087 涡轮喷气发动机:2324 国内外研究:1475 微型机电系统:1430 微机器人:1346 微结构:1222 微加速度计:1182 微制造技术:1089 微驱动器:986 微机械:962