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机构
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2000 [1]
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电化学在微型机电系统中的应用
会议论文
OAI收割
《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期, 2000
田中群
;
孙建军
;
黄海苟
;
程旋
;
蒋利民
;
田昭武
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提交时间:2012/01/18
微机电系统 电化学 纳米加工