机构

• 电子学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2007 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种硅梁谐振加速度结构设计与模拟分析 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2007, 卷号: 44, 期号: 7, 页码: 282-284 陈德勇; 陈健; 毋正伟; 王军波; 陈李 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/19 谐振加速度计  微杠杠结构  差分输出