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长春光学精密机械与物... [1]
合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [1]
2004 [1]
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微波电子回旋共振等离子体阴极电子束的实验研究
期刊论文
OAI收割
核聚变与等离子体物理, 2019, 卷号: 039
-
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提交时间:2020/10/26
微波回旋共振
等离子体阴极
电子束
p-Si薄膜生长的ECR-CVD等离子体系统的结构设计
期刊论文
OAI收割
液晶与显示, 2004, 期号: 03, 页码: 199-201
作者:
刘永刚
;
胡立发
;
宣丽
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提交时间:2013/03/11
电子回旋共振
微波等离子体
p-Si薄膜