机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 电子束和X射线光刻制作高分辨率微波带片 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 6, 页码: 1147-1150 作者:  曹磊峰;  谢常青;  叶甜春;  王德强   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/26 电子束  X射线光刻  微波带片  菲涅耳波带片