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机构
半导体研究所 [1]
烟台海岸带研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2007 [1]
学科主题
其他 [1]
半导体器件 [1]
微电子学 [1]
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共2条,第1-2条
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微悬臂梁生化传感器系统集成与检测
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
廖驹
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提交时间:2016/06/03
MEMS生化传感器
微悬臂梁
频率检测
微流体控制
传感器系统
微流体驱动与控制技术
期刊论文
OAI收割
化学进展 , 2007, 卷号: 20, 期号: 09 , 页码: 1406-1415
李清岭
;
陈令新
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2011/07/18
微流体
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流体控制
微电子机械系统
微化工