机构

• 电子学研究所 [4]
• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [4]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]
• 2012 [1]
• 2010 [1]
• 2009 [2]

学科主题

• 传感器 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于光气动探测的MEMS热膜式微流量传感器研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 侍艳华 收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2013/06/07 光气动探测  非色散红外  微流探测器  微流量传感器  MEMS   用于光气动探测的微流量传感器制备及其特性研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 赵永翠 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/06/09 非色散红外+光气动探测+微流量传感器+气体检测   Lamb波压差式微流量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2010, 期号: 1 光玲玲; 贾宏光 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/09/25 微流体系统  微流量传感器  Lamb波   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真   一种基于MEMS技术的谐振式气体微流量传感器的设计与制造 学位论文  OAI收割 硕士, 电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2009 郭然 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2011/07/19 微机械电子系统  气体微流量传感器  电磁激励  静电激励  湿法腐蚀  有限元仿真