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	硅微条探测器的研制学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2010 韩励想 \| 收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2011/06/29 硅微条位置灵敏探测器微电子工艺线半导体 P-n 结
	硅多条探测器的研制和初步应用期刊论文 OAI收割高能物理与核物理, 2005, 卷号: 2005, 期号: 04, 页码: 383-386 谭继廉,靳根明,王宏伟,段利敏,袁小华,王小兵,李松林,卢子伟,徐瑚珊,宁宝俊,田大宇,王玮,张录 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2010/10/29 硅多条探测器微电子工艺电特性探测特性漏电流能量分辨率
	硅多条探测器的研制期刊论文 OAI收割核电子学与探测技术, 2004, 卷号: 2004, 期号: 06, 页码: 551-554 谭继廉,靳根明,王宏伟,段利敏,袁小华,王小兵,李松林,卢子伟,徐瑚珊,宁宝俊,田大宇,王玮,张录 \| 收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2010/10/29 硅多条探测器微电子工艺电特性探测特性反向漏电流能量分辨率
	硅基MEMS技术期刊论文 OAI收割机械强度, 2001, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 523-526 作者: 郝一龙收藏 \| 浏览/下载：1741/115 \| 提交时间：2010/05/03 微电子机械系统牺牲层体硅工艺深刻蚀
	微机械微腔阵列结构生物传感器的制备和表征学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001 田锋收藏 \| 浏览/下载：35/0 \| 提交时间：2012/03/06 制备和表征:5838 生物传感器:5508 阵列结构:4903 微机械:2902 微腔:1168 谷氨酸传感器:864 葡萄糖氧化:571 微电子平面工艺:504 半乳糖传感器:462 系统芯片:432