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	基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究学位论文 OAI收割北京: 中国科学院大学, 2021 作者: 周波 \| 收藏 \| 浏览/下载：233/0 \| 提交时间：2022/12/15 微电铸金属微型零件弹性聚合物芯模界面润湿性液相传质
	平面电磁型微电机定转子制作工艺期刊论文 OAI收割微纳电子技术, 2009, 期号: 9 作者: 吴一辉收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/09/25 微电机大深宽比平面线圈深刻蚀微电铸
	薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术期刊论文 OAI收割半导体学报, 2008, 期号: 07 魏星; 王湘; 陈猛; 陈静; 张苗; 王曦; 林成鲁收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统准LIGA 微电铸