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	双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构期刊论文 OAI收割影像科学与光化学, 2014, 期号: 6, 页码: 542-549 作者: 贾雁鹏; 郑美玲; 董贤子; 赵震声; 段宣明 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2018/03/16 双光子微纳加工技术化学镀三维金属微纳米结构
	硅基微纳复合降噪与电能转换器件的研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 吴少华收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2012/06/08 微电子机械系统微米纳米复合加工技术硅基微纳米降噪微纳系统能量自收集降噪与能量收集复合器件
	微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用期刊论文 OAI收割物理, 2006, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 47-50 作者: 刘明; 陈宝钦; 谢常青; 王丛舜; 龙世兵 \| 收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2010/05/26 纳米加工纳米器件微纳加工技术光学光刻技术