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机构
长春光学精密机械与物... [1]
自动化研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
2002 [1]
学科主题
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微纳作业平台的位姿感知与智能控制方法研究
学位论文
OAI收割
中国科学院自动化研究所: 中国科学院自动化研究所, 2022
作者:
杜章铭
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提交时间:2022/06/13
微纳作业
压电致动器
位移感知
神经网络
模型预测控制
直接逆控制
微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
期刊论文
OAI收割
兵工学报, 2002, 期号: 02, 页码: 228-230
作者:
吴一辉
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提交时间:2013/03/11
微致动器
微力矩
非接触测量
微电子机械系统