中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条

帮助

条数/页：排序方式：
	基于FAHP参数化设计方法的ARV模型构建与性能评估期刊论文 OAI收割海洋技术学报, 2018, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 34-39 作者: 王丙乾; 要振江; 唐元贵 \| 收藏 \| 浏览/下载：39/0 \| 提交时间：2018/03/25 自主遥控水下机器人(ARV) 参数化设计总体性能评价模型模糊层次分析法(FAHP)
	水平轴风力机专用翼型性能评价方法研究会议论文 OAI收割中国工程热物理学会, *, 2012 李星星; 杨科; 张磊; 刘强收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2013/03/20 风力机专用翼型气动性能评价失速特性参数稳定性参数
	水平轴风力机专用翼型性能评价方法研究会议论文 OAI收割 *, 2012 作者: 张磊; 刘强; 李星星; 杨科 \| 收藏 \| 浏览/下载：7/0 \| 提交时间：2013/03/20 风力机专用翼型气动性能评价失速特性参数稳定性参数
	数值软件自适应性能优化搜索过程评价技术研究期刊论文 OAI收割计算机研究与发展, 2010, 卷号: 47, 期号: 4, 页码: 679-686 孙相征; 张云泉; 王宣强; 王磊 \| 收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2010/08/24 自适应优化过程评价指标优化参数性能跟踪 ATLAS GEMM
	短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究学位论文 OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2009 作者: 宁锦华 \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2012/08/22 由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作探测率高等优点 Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究重点研究了感应耦合等离子体刻蚀（icp）台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器通过最终性能的比较评价得出较好的台面成型方式为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下：icp刻蚀中掩膜的材料致密性侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉铟基材料的刻蚀需要对样品加热在此温度下光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说采用pecvd生长sinx 选择边缘平整的光刻板用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf：nh4f：h2o为3：6：10的溶液常温腐蚀6秒可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器平均刻蚀速率过快同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离提高刻蚀速率相比较ar气 N2的物理轰击力小对材料造成的损伤小同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx 在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型能得到刻蚀速率稳定可控刻蚀后的表面光洁无残留物图形保真度好。在不同的直流偏压 Icp功率气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型并从刻蚀速率刻蚀垂直度刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下 Icp具有图形保真度好刻蚀速率稳定可控的优点因而更适用于ingaas探测器的工程制作特别在小光敏元探测器的制备中 Icp的优势将更明显。
	电极沥青粘结剂性能评价参数相关性的研究期刊论文 OAI收割炭素技术, 2004, 期号: 1, 页码: 28-33 刘树和,尚尔超,胡博收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2012/04/12 电极沥青粘结剂性能评价参数相关性研究
	多传感器目标检测的性能评估(二) 期刊论文 OAI收割航空计算技术, 1998, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 12-14 康耀; 陈鹤; 陈刚; 李勇收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2012/12/24 目标检测:6707 多传感器:5438 性能评估:3526 虚警率:2406 检测率:2013 软件工程研究所:954 评价指标:923 融合中心:818 西安电子科技大学:694 性能参数:487