机构

• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 气相沉积硅薄膜微结构及悬挂键缺陷研究 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2011, 期号: 2, 页码: 178-182 黄香平; 肖金泉; 邓宏贵; 杜昊; 闻火; 黄荣芳; 闻立时 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/04/12 纳晶硅  悬挂键密度  电子自旋共振  Raman光谱