机构

• 力学研究所 [1]
• 国家空间科学中心 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2004 [1]
• 1981 [1]

学科主题

• 空间技术 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 451-454 尤大伟; 黄小刚; 任荆学; 李安杰 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2014/04/30 宽束  离子源  薄膜制备  光学薄膜  离子束  感应线圈  匹配  射频  镀膜  高性能   高频感应放电理论与特性计算方法 期刊论文  OAI收割 力学进展, 1981, 卷号: 11, 期号: 4, 页码: 323-337 朱清文 收藏  |  浏览/下载：656/36  |  提交时间：2009/08/03 放电区  等离子体特性  放电管  高频感应  放电特性  特性计算  等离子体放电  感应线圈  兆周