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短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
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适用于阵列波导光栅制作的厚SiO2陡直刻蚀技术 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 11, 页码: 4,1222-1225
作者:  
牛立华;  魏珂;  刘训春;  曹振亚;  王润梅
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