机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 电子束曝光技术发展概况 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 3,27-29 作者:  刘明;  张建宏   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25 电子束  曝光技术  微电子技术  Sem  高斯扫描系统  成型束  抗蚀剂